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前言

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本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)具體內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過(guò)程中，希望各有關(guān)單位結(jié)合工程實(shí)踐，認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，若發(fā)現(xiàn)需要修改和補(bǔ)充之處，請(qǐng)將意見(jiàn)和有關(guān)資料寄至中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》管理組(地址：北京市海淀區(qū)萬(wàn)壽路27號(hào)，郵政編碼：100840，傳真：

1 總 則

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電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進(jìn)的需要預(yù)留條件。1．0．4 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測(cè)和安全運(yùn)行、維護(hù)管理創(chuàng)造必要的條件。

2 術(shù) 語(yǔ)

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防靜電環(huán)境 ESD controlled environment 具有防止靜電危害的特定環(huán)境，在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。2．0．35 表面電阻 surface resistance 在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求

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電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。

4 總體設(shè)計(jì)

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潔凈室(區(qū))的空間布置應(yīng)滿足下列要求：1 生產(chǎn)設(shè)備、物料運(yùn)輸系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求布置，并應(yīng)做到有效、靈活和操作方便；2 各類管線的空間布置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、安全間距和維修要求；3 終端高效空氣過(guò)濾器、照明燈具和各種公用動(dòng)力設(shè)施的布置，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、潔凈度等級(jí)、安全生產(chǎn)和維修要求；4 潔凈生產(chǎn)層的高度應(yīng)按生產(chǎn)設(shè)備、

5 工藝設(shè)計(jì)

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人員凈化用室，應(yīng)根據(jù)換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設(shè)置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設(shè)置。5．3．3 潔凈廠房?jī)?nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積，應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和潔凈室內(nèi)工作人員數(shù)量等確定，宜按潔凈室

6 潔凈建筑設(shè)計(jì)

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潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑

7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)

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凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置：1 運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同；2 生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；3 對(duì)溫、濕度控制要求差別大；4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；

8 給水排水設(shè)計(jì)

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潔凈室(區(qū))設(shè)置的固定滅火設(shè)施，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 設(shè)置的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50084的有關(guān)規(guī)定。噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于8L／min·m2，作用面積不應(yīng)小于160m2；2 設(shè)置的氣體滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《氣體滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50370和《二氧化碳滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)

9 純水供應(yīng)

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純水管道的閥門和附件的選用應(yīng)符合下列規(guī)定：1 應(yīng)選擇與管道相同的材質(zhì)；2 應(yīng)選用密封好、結(jié)構(gòu)合理、無(wú)滲氣現(xiàn)象的閥門；3 對(duì)純水的水質(zhì)要求嚴(yán)格的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水系統(tǒng)，應(yīng)采用隔膜閥。